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偵測 碳氟化合物 (Carbon Fluoride) 設備一覽表
Picarro / 美國製
碳氟分析儀, 可在數秒內, 對潔淨室內Chiller測試, 能夠快速反應氟含量, 進行高品質出貨把關 (ppb等級)
AP2E / 法國製
碳氟分析儀, 同時擁有高敏銳光學鏡分析氟離子, 且具備多樣性報告分析與呈現, 進行高品質出貨把關 (ppb等級)
ABB / 美國製
碳氟分析儀, 高敏銳度, 對潔淨室內Chiller測試, 能夠快速反應氟含量, 進行高品質出貨把關 (ppb等級)
創控 / 台灣製
碳氟分析儀, 高敏銳度, 高purge速度, 對潔淨室內Chiller測試, 能夠快速反應氟含量, 進行高品質出貨把關 (ppb等級)分析儀, 能夠連續線上監控, 即時警示, 及氟氣體溢漏分析