◎熱負載 (Heat Load)

多樣性熱負載設備, 提供單機, 多channel, 或串聯之功能, 客製且穩地的持續輸出相對應之熱能, 模擬先進製程製造晶圓時, 在不同製程中所產生熱能時, 確保Chiller運作, 且達到高精度的控溫能力, 保障先進製程的高良率